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掩膜無線測溫系統

更新時間:2025-01-15

簡要描述:

掩膜無線測溫系統光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉印到產品基板上。在半導體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統用于準確測量光掩膜版的溫度分布。

型號:RD8655點擊量:1381

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掩膜無線測溫系統光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉印到產品基板上。在半導體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統用于準確測量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測溫系統產品特點主要技術參數

1.  體積小、精度高、采樣速度快;

2. 溫度準確度高達1mK

3采用無線通訊方式,響應時間短。

掩膜無線測溫系統

溫度范圍

0 ~ 30℃

溫度準確度

1mK(3σ)

重復測量準確度

<2mK(3σ)

傳感器響應時間

1s

采集頻率

max.4Hz

連續工作時間

100min

傳感器數量

14

通訊方式

Wifi

保修期

1年




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